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高效空氣過濾器檢測方法及評定標準：

高效空氣過濾器檢漏

高效空氣過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定進行性能試驗檢測（如DOP試驗等），并提供合格證（含性能試驗結果）。對于5級（100級）以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現場應再次進行高效過濾器本體的性能檢測。同時也要為確認高效過濾器的正確安裝狀態進行泄漏試驗。而在深圳傳遞窗大規模集成電路生產的超潔凈技術中（如O.lUm，1級），由于新風量往往僅是循環風量的百分之幾，經過稀釋上風側也變成6級（1 000級）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。

(1)高效空氣過濾器檢測要求

①一般采用粒子計數器法進行檢漏，被檢高效過濾器必須已檢測過風量，并在設計風速的80%—120%之間運行。

②對于被檢高效過濾器上風側的微粒濃度符合如下要求。

·對受控粒徑≥0.5pm的濃度，必須大于等于3.5×104pc/L；

·對受控粒徑≥0. 1lim的濃度，必須大于等于3.5×106～3.5×107pc/L。

(2)高效空氣過濾器檢測方法

高效空氣過濾器檢測方法及評定標準,采用掃描法對高效過濾器安裝接縫和主斷面進行檢測，檢測點應距被測表面20～30mm，測頭以5～20mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進行掃描。粒子計數器的最小采樣量大于1L/min[3]。來源：m.knkmdask.cn

(3)高效空氣過濾器檢測設備

①光散射粒子計數器，其工作原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號轉換為相應的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關系，測量微粒粒徑大小。傳遞窗配件光散射粒子計數器的工作原理見圖9-2，儀器一般由氣路系統、光學系統、電路系統和電源等部分組成‘4]。國產的Y09等系列粒子計數器，進口的Royco-245粒子計數器均屬于此類粒子計數器。

②激光粒子計數器，其工作原理與光散射粒子計數器基本相同，但因采用了比光散射粒子計數器強100倍的氦一氖激光光源，所以微粒粒徑的檢測范圍達O.lym。圖9-3是該類計數器光學系統簡圖。

③凝聚核粒子計數器，它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑微粒子，進行微粒粒子濃度測定，圖9-4是凝聚核計數器工作原理簡圖。采樣空氣中的微粒，經過溫度為35℃的飽和管，然后在溫度為10℃的凝聚管內由媒介液進行凝聚，直至增大到能夠檢測到散射光的粒徑為止，其他部分與一般光散射粒子計數器相同。

(4)高效空氣過濾器合格標準

在《潔凈室施工及驗收規范》中規定，由高效過濾器下風側泄漏濃度換算成的穿透率來衡量是否合格，其合格標準如下。

對高效空氣過濾器： K'= C2×100%≤2K (9-1)

對高效空氣過濾器： K'= 02×100%≤3K (9-2)Cl式中K-高效過濾器出廠時檢測合格的透過率；

K 7——高效空氣過濾器的泄漏濃度換算成的透過率；